Servizio 1: Nanofabbricazione di sistemi e dispositivi elettronici e fotonici, sintesi di materiali innovativi per elettronica e fotonica

Fornito da Laboratorio Nest della Scuola Superiore Normale

Nanofabbricazione di sistemi e dispositivi elettronici e fotonici, sintesi di materiali innovativi per elettronica e fotonica: processi di litografia ottica (UV), elettronica (EBL), nanoimprint (NIL), etching a secco (ICP-RIE) e a umido, crescita materiali 1D e 2D attraverso tecnica CBE e CVD, deposizione di film sottili di vari materiali (metallici, semiconduttori e dielettrici) mediante evaporazione termica, e-beam, e tecnica di polverizzazione catodica (sputtering) su substrati di varia tipologia.