Servizio 8: Fabbricazione di dispositivi, sensori, circuiti e sistemi elettronici e fotonici

Fornito da Università di Pisa - Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione
 

Micro e nano-fabbricazione di dispositivi, sensori, microsistemi e circuiti elettronici e fotonici, sintesi di materiali innovativi per elettronica e fotonica: processi di litografia ottica (UV), litografia laser 3D, etching a secco (RIE) e a umido, crescita materiali 1D, 2D e 3D attraverso varie tecniche, deposizione di film sottili di vari materiali (metallici, semiconduttori e dielettrici) mediante evaporazione termica, e-beam, e tecnica di polverizzazione catodica (sputtering) su substrati di varia tipologia.